扫描电子显微镜（SEM）基础

发布日期：2012-09-20 11:15 来源：网络作者：网络浏览次数：

1 什么是扫描电子显微镜（SEM）
Scanning Electron Microscope(SEM)扫描型电子显微镜是由真空系统、
高压电源、高灵敏度增幅器获取样品表面图像的科学仪器。
2 SEM的工作原理

3 SEM与光学显微镜相比，SEM的优点有哪些？
    比光学显微镜多100x的景深;
    高倍率和连续变倍(从10倍到4万倍)；
    高分辨率（大于20nm）。